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横河EJA差压变送器采用微电子加工技术!

发布时间:2025/11/917

横河EJA差压变送器采用微电子加工技术:一个单晶硅芯片表面的中心和边缘制作两个形状、尺寸、材质一致的H形状的谐振梁,谐振梁在自激振荡回路中作高频振荡。单晶硅片的上下表面受到的压力不等时,将产生形变,导致中心谐振梁因压缩力而频率减小,边缘谐振因受拉伸力而频率增加。
 
两频率之差信号直接送到CPU进行数据处理,然后经D/A转换成4-20mA输出信号,通讯时叠加Brain或Hart数字信号;直接输出符合现场总线标准的数字信号。其主要性能:静压影响忽略不计,当加有静压(工作压力)时,两形状,尺寸、材质一致的谐振梁形变相同,故频率变化也一致,故偏差自动清除(公式和图类似温度影响)。
 
横河EJA差压变送器单向过压特性优异,接液膜片与膜盒本体采用的波纹加工技术,使外部压力增大到某一数值时,接液膜片能与本体接触,硅油传递给传感器的压力不再随外力的增加而增加,从而达到对传感器的保护作用。



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