横河EJA变送器电气式执行元件包括直流(DC)伺服电机、交流（AC）伺服电机、步进电机以及电磁铁等。其对伺服电机除了要求运转平稳以外，一般还要求动态性能好，适合于频繁使用，便于维修等。液压式执行元件液压式执行元件主要包括往复运动油缸、回转油缸、液压马达等。在同等输出功率的情况下，液压元件具有重量轻、快速性好等特点。
气压式执行元件气压式执行元件除了用压缩空气作工作介质外，与液压式执行元件没有区别。气压驱动虽可得到较大的驱动力、行程和速度，但由于空气粘性差，具有可压缩性，不能在定位要求较高的场合使用。
机电一体化产品中常用的控制用电机是指能提供正确运动或较复杂动作的伺服电机。控制用电机有回转和直线驱动电机，通过电压、电流、频率(包括指令脉冲)等控制，实现定速、变速驱动或反复启动、停止的增量驱动以及复杂的驱动，而驱动精度随驱动对象的不同而不同。